来源:bb平台体育下载 发布时间:2023-12-14 14:34:16
中商情报网讯:涂胶显影设备是光刻工序中与光刻机配套运用的涂胶、烘烤及显影设备,包含涂胶机、喷胶机和显影机。依据运用方法不一样可分为独自运用(Off Line)和联机作业(In Line)。
涂胶/显影机作为光刻机的输入(曝光前光刻胶涂覆)和输出(曝光后图形的显影)设备,主要是经过机械手使晶圆在各体系之间传输和处理,然后完结晶圆的光刻胶涂覆、固化、显影、坚膜等工艺进程,是集成电路制造的完好进程中不可或缺的要害处理设备。我国大区(含我国台湾地区)前道涂胶显影设备商场规模估计由 2016 年的 8.57 亿美元增加至2023 年的10.26 亿美元,年均复合增加率有望达 7.78%。
TEL 在我国大陆的市占率高达91%,其次为 Screen(迪恩士),占比挨近 5%,我国芯源微涂胶显影设备国产化率仅为4%。
更多材料请参考中商工业研究院发布的《我国半导体设备职业未来商场开展的潜力及出资时机研究报告》,同时中商工业研究院还供给工业大数据、工业情报、工业研究报告、工业规划、园区规划、十四五规划、工业招商引资等服务。
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